[第三屆鈣鈦礦論壇報導] 勤友光電钙鈦礦捲對捲濺鍍解決方案

演講主題：次世代鈣鈦礦太陽能生產設備-R2R真空鍍膜設備

演講講師：簡谷衛技術長 勤友光電股份有限公司

TPSC/編輯：藍翔

勤友光電在鈣鈦礦技術有完整的解決方案，直流/中頻/射頻濺鍍能有效匹配鈣鈦礦電池常見的TCO/金屬氧化層載子傳輸層/背電極大面積化製程，從一米平方、兩米平方一直到終極目標-卷對卷濺鍍的完備技術路線。

在卷對卷濺鍍機台設計上基材卷輸出腔、真空加溫除水、張力拉平，和多靶濺鍍腔的設計對最終卷對卷鍍膜品質有著極為關鍵的影響，簡谷衛技術長特別指出，卷式濺鍍中塑膠基板除水氣，以及滾式濺鍍腔中各種電極設計和氣體阻絕是機台最大的挑戰。